| 申请专利号 |
200420118068.1 |
专利申请日 |
2004.10.28 |
| 名称 |
石英晶片切角自动分选装置 |
公开(公告)号 |
CN2753476 |
| 公开(公告)日 |
2006.01.25 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请(专利权) |
殷雪梅 |
| 地址 |
100044北京市海淀区西直门北大街41号天兆家园2A902 |
发明(设计)人 |
殷雪梅 |
| 国际申请 |
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国际公布 |
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| 专利代理机构 |
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代理人 |
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| 摘要 |
| 本实用新型公开了一种石英晶片切角自动分选装置,包括上料装置、测量装置、分料装置。测量装置包括x射线发生器(1)、单色反射器(2)、测量台(3)、x射线接收器装置(4)。其特征是通过改变单色反射器(2)的方位来调整入射角的大小,达到x射线扫描晶片的目的。单色反射器(2)为双路,使双束x射线同时照射到被测晶片(5)上,双束x射线分别对应由于被测晶片(5)放置的方位不同而需要的两个不同的入射角度,俗称蜡上、蜡下。 |
| 主权项 |
| 1、一种石英晶片切角自动分选装置,由上料装置、测量装置和分料装置三部分组成,其特征在于:所述的测量装置由X射线发生器(1)、单色反射器(2)、测量台(3)、X射线接收装置(4)组成,X射线发生器(1)、单色反射器(2)、测量台(3)、X射线接收装置(4)均固定在基板(9)上,基板(9)通过螺栓与支架(10)相连,单色反射器(2)固定在基板(9)上方悬臂(7)的下端。 |