| 申请专利号 |
200510102529.5 |
专利申请日 |
2005.09.08 |
| 名称 |
清洗方法以及实施该方法的清洗液供给装置 |
公开（公告）号 |
CN1745911 |
| 公开（公告）日 |
2006.03.15 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请（专利权） |
株式会社杰维思 |
| 地址 |
日本国崎玉县 |
发明（设计）人 |
小林芳树;安川雅彦 |
| 国际申请 |
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国际公布 |
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| 专利代理机构 |
北京三幸商标专利事务所 |
代理人 |
刘激扬 |
| 摘要 |
| 本发明提供一种清洗方法以及实施该方法的清洗液供给装置。该方法可防止在被清洗物上形成清洗液的覆盖膜，并且还可防止清洗液和异物在被清洗物上的逆流。该清洗方法向被清洗物连续地喷出清洗液，其中在14～17m/sec的流速下，连续对被清洗物喷出高压的清洗液，并且按照20～50c/sec的周期，使该连续喷出的清洗液的流速上升到100～120m/sec，以对清洗液进行增强减弱的处理。于是，按照本发明，由于通过对清洗液进行增强减弱的处理，喷飞喷向被清洗物的清洗液，故不在被清洗物上形成清洗液的覆盖膜，另外，因对被清洗物连续喷出清洗液与被清洗物冲击的清洗液与在平时去除的异物等一起，可从被清洗物上流动，可防止向被清洗物上的逆流。 |
| 主权项 |
| 1.一种清洗方法，该清洗方法向被清洗物连续地喷出高压的清洗液，其特征在于对上述连续喷出的清洗液的稳定连续流进行增强减弱的处理。 |
