| 申请专利号 |
200410095293.2 |
专利申请日 |
2004.11.19 |
| 名称 |
电火花加工用的极长异形微细电极的制造方法 |
公开（公告）号 |
CN1778505 |
| 公开（公告）日 |
2006.05.31 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请（专利权） |
中国科学院高能物理研究所 |
| 地址 |
100039北京市石景山区玉泉路19号乙 |
发明（设计）人 |
彭良强;伊福廷;张菊芳;韩 勇 |
| 国际申请 |
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国际公布 |
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| 专利代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
| 摘要 |
| 一种电火花加工用的极长异形微细电极的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：在导电基板上涂光刻胶；步骤2：掩模板与导电基板对准后曝光，显影后得到光刻胶微结构；步骤3：在光刻胶微结构的缝隙中电铸金属；步骤4：重复1-3步骤；步骤5：去除光刻胶和导电基板后得到所需金属电极。 |
| 主权项 |
| 1、一种电火花加工用的极长异形微细电极的制造方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：在导电基板上涂光刻胶； 步骤2：掩模板与导电基板对准后曝光，显影后得到光刻胶微结构； 步骤3：在光刻胶微结构的缝隙中电铸金属； 步骤4：重复1-3步骤； 步骤5：去除光刻胶和导电基板后得到所需金属电极。 |
