| 申请专利号 |
200510128655.8 |
专利申请日 |
2005.11.23 |
| 名称 |
用于监控和控制电侵蚀的方法和系统 |
公开（公告）号 |
CN1781639 |
| 公开（公告）日 |
2006.06.07 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请（专利权） |
通用电气公司 |
| 地址 |
美国纽约州 |
发明（设计）人 |
罗元丰;袁人炜;王军文;魏 斌;M·S·兰菲尔 |
| 国际申请 |
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国际公布 |
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| 专利代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
程天正;张志醒 |
| 摘要 |
| 一种用于监控电侵蚀组件(100)中的机械加工的方法，该电侵蚀组件(100)具有电源(20)和从工件(14)跨越间隙(12)设置的电极(10)，该方法包括在电压波形的一半脉宽的时间延迟td之后测量电压波形上的一个点处的电压。对于电压波形的多个脉冲重复测量以获得多个电压，每个电压对应各个脉冲中的点。平均这些电压以获得平均电压，将平均电压和至少一个阈值电压比较，以判断机械加工是否在控制之中。如果比较显示该工艺不在控制之中，则产生控制信号，设置该控制信号以调节电源的运行参数，以及如果产生了控制信号则将其施加给电源。 |
| 主权项 |
| 1、一种用于监控电侵蚀组件(100)中的机械加工的方法，该组件(100)具有电源(20)和从工件(14)跨越间隙(12)设置的至少一个电极10，通过在多个脉冲导通周期中在电极和工件之间施加电势差ΔV的电源对该电极供电，所述方法包括： 在电压波形的至少大约一半脉宽Δτ的指定时间延迟td之后测量电侵蚀组件的电压波形上的一个点处的电压； 对于电压波形的多个脉冲重复测量，以获得多个电压，每个电压对应各个脉冲中的点； 平均这些电压以获得平均电压； 比较平均电压和至少一个阈值电压Vth以判断机械加工是否在控制之中； 如果比较显示该工艺不在控制之中，则产生至少一个控制信号，设置该至少一个控制信号以调节电源的至少一个运行参数；以及 如果已经产生了控制信号，则将至少一个控制信号施加给电源。 |
