| 申请专利号 |
03811977.3 |
专利申请日 |
2003.04.18 |
| 名称 |
通过扫描电磁辐射进行的热流处理 |
公开（公告）号 |
CN1723097 |
| 公开（公告）日 |
2006.01.18 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请（专利权） |
应用材料有限公司 |
| 地址 |
美国加利福尼亚州 |
发明（设计）人 |
D·C·詹宁斯;M·任;A·J·梅耶尔;V·贝尔任斯;P·A·奥布雷恩;L·M·特尔梯茨基;A·戈尔登 |
| 国际申请 |
2003-04-18 PCT/US2003/012291 |
国际公布 |
2003-10-30 WO2003/089184 英 |
| 专利代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
赵蓉民 |
| 摘要 |
| 所述热处理装置包括台座(216)、连续波(cw)电磁辐射源(202)、系列透镜(210)、平移机械装置(218)和控制器(226)。台座(216)被配置成用以安放衬底(214)。连续波电磁辐射源(202)被置于台座(216)附近，且被配置成沿着朝向衬底(214)的路径发射连续波电磁辐射。系列透镜(210)置于连续波电磁辐射源(202)和台座(216)之间，且被配置成把所述连续波电磁辐射会聚成衬底(214)的表面上的连续波电磁辐射线(222)。 |
| 主权项 |
| 1.一种热处理装置，其包括： 一台座，其被配置成用以在其上安放衬底； 一连续波电磁辐射源，其被置于所述台座的附近，其中所述连续波电磁辐射源被配置成用以沿朝向所述衬底的路径，发射连续波电磁辐射； 一系列透镜，其被置于所述连续波电磁辐射源和所述台座之间，其中所述系列透镜被配置成用以将所述连续波电磁辐射会聚成为所述衬底的一表面上的连续波电磁辐射线；以及 一平移机械装置，其被配置成用于将所述台座和所述连续波电磁辐射线彼此相对平移。 |
