| 申请专利号 |
200480003033.6 |
专利申请日 |
2004.02.09 |
| 名称 |
具有复合透明窗口的化学机械抛光垫 |
公开（公告）号 |
CN1744968 |
| 公开（公告）日 |
2006.03.08 |
颁证日 |
|
| 优先权 |
|
申请（专利权） |
卡伯特微电子公司 |
| 地址 |
美国伊利诺伊州 |
发明（设计）人 |
阿巴尼什沃尔·普拉萨德 |
| 国际申请 |
2004-02-09 PCT/IB2004/000385 |
国际公布 |
2004-08-19 WO2004/069476 英 |
| 专利代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
宋 莉;贾静环 |
| 摘要 |
| 本发明涉及包含透明窗口的化学机械抛光垫。在一个实施方式中，透明窗口包含无机材料及有机材料，其中该无机材料占透明窗口的20重量％或更多。在另一实施方式中，透明窗口包含无机材料及有机材料，其中该无机材料分散在整个有机材料中，且具有5至1000纳米的大小，且其中该透明窗口在200至10,000纳米的范围中的至少一个波长处具有30％或更大的总透光率。在另一实施方式中，透明窗口包含无机/有机杂化溶胶-凝胶材料。在一额外实施方式中，透明窗口包括聚合物树脂及澄清材料，其中该透明窗口具有基本高于仅包含聚合物树脂的窗口的总透光率。 |
| 主权项 |
| 1.一种用于化学机械抛光的包含透明窗口的抛光垫，其中该透明窗口包含至少一种无机材料及至少一种有机材料，且其中以透明窗口的总重量计，该无机材料占透明窗口的20重量％或更多。 |
