| 申请专利号 |
200510081127.1 |
专利申请日 |
2005.06.28 |
| 名称 |
移送装置及其控制方法以及真空处理装置 |
公开（公告）号 |
CN1715007 |
| 公开（公告）日 |
2006.01.04 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请（专利权） |
株式会社爱发科 |
| 地址 |
日本神奈川县 |
发明（设计）人 |
南展史;吾乡健二;川口崇文;小池土志夫;汤山纯平 |
| 国际申请 |
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国际公布 |
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| 专利代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
张天安 |
| 摘要 |
| 提供一种移送装置，通过将旋转用马达的旋转驱动力正确地传递到移送用臂上，并且正确地检测旋转驱动轴的旋转角度，可将移送部上的移送对象物移送到正确的位置。本发明的移送装置(1)在具有气密构造的壳体(61)内配设有能够以规定的同心旋转轴为中心相互独立地转动的第1～第3驱动轴(1a～1c)，分别安装在第1～第3驱动轴(1a～1c)的规定部位上的永久磁铁(32a～32c)，以及与永久磁铁(32a～32c)相对应地设置的电磁线圈(34a～34c)。基于规定的信息向电磁线圈(34a～34c)供应驱动电流，驱动第1～第3驱动轴(1a～1c)，通过固定在第1～第3驱动轴(1a～1c)上的第1和第2连杆(12a、12b)对移送对象物进行移送。 |
| 主权项 |
| 1.一种移送装置，备有： 具有气密构造的壳体； 配设在前述壳体内，能够以规定的同心旋转轴为中心相互独立地转动的第1～第3驱动轴； 分别配设在前述第1～第3驱动轴的规定部位上的永久磁铁； 在前述壳体内与前述永久磁铁相对应地设置的第1～第3电磁定子； 基于规定的信息向前述第1～第3电磁定子供应驱动电流的驱动机构； 由前述第1～第3驱动轴驱动，移送规定的移送对象物的可动臂总成。 |
