| 申请专利号 |
200510082386.6 |
专利申请日 |
2005.06.24 |
| 名称 |
多区末端受动器组件 |
公开（公告）号 |
CN1721145 |
| 公开（公告）日 |
2006.01.18 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请（专利权） |
应用材料股份有限公司 |
| 地址 |
美国加利福尼亚州 |
发明（设计）人 |
高如松本;秋广细川 |
| 国际申请 |
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国际公布 |
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| 专利代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
任永武 |
| 摘要 |
| 本发明提供使用于基板机器人的一末端受动器的若干具体实施例。在一具体实施例中该末端受动器组件包含一腕部、以及连结至该腕部的具有间隔分离关系的一第一和一第二末端受动器。该第一末端受动器含有连结至该腕部的一基座以及一末梢其连结至位在该腕部相反侧的该基座上。该基座及该末梢可由相同或不同材料制成。该第一及第二末端受动器可具有不同共振频率来减少振动。或者，对该第一和第二受动器施加一低放射率涂层。该低放射率涂层可还具有复数个压力释放槽，用以减少或避免在该涂层与该在下面的末端受动器因为不同的热膨胀而使涂层剥落。 |
| 主权项 |
| 1.一种一基板机器人用的末端受动器组件，包含： 一腕部； 一基座，连结至该腕部的第一面； 一末梢，连结至位于该腕部相反侧的该基座上，该末梢和该基座界定一第一末端受动器；以及 一第二末端受动器，以与该第一末端受动器具有间隔分离关系的方式连结至该腕部的第一面。 |
