| 申请专利号 |
200510086475.8 |
专利申请日 |
2005.09.23 |
| 名称 |
超高真空化学气相淀积外延系统的张合式取放片机械手 |
公开（公告）号 |
CN1739923 |
| 公开（公告）日 |
2006.03.01 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请（专利权） |
清华大学 |
| 地址 |
100084北京市100084-82信箱 |
发明（设计）人 |
钱佩信;梁聚宝;林惠旺;刘荣华;刘志弘;陈长春;张 伟 |
| 国际申请 |
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国际公布 |
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| 专利代理机构 |
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代理人 |
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| 摘要 |
| 本发明属于集成电路半导体薄膜外延生长技术及超晶格薄膜材料生长技术领域；其特征在于含有：磁传动轴、止推弹簧、止推挡板、档头、双定位转芯、两个内套筒、外套筒、换向轴、换向弹簧以及基于四连杆机构的张合式机械手夹臂；磁传动轴前进过程中，固定在外套筒一端的档头被外延生长反应腔真空阀门第一次挡住后，磁传动轴继续向前位移，使机械手夹臂张开实现放片功能；而在磁传动轴前进过程中，档头被阀门第二次挡住时，磁传动轴继续向前位移，却使机械手夹臂闭合实现取片功能，并依次循环往复。本发明具有硅片的存取准确可靠，重复稳定性好的优点，大大提高了单片三腔红外加热超高真空化学气相淀积外延系统的生产效率。 |
| 主权项 |
| 1.超高真空化学气相淀积外延系统用的张合式取放片机械手，其特征在于，该机械手含有： a)磁传动轴(401)； b)磁传动轴止推挡板(405)，该挡板套在所述磁传动轴(401)的一端，而且该挡板(405)与所述磁传动轴(401)相互连接固定； c)挡头(403)，该挡头(403)滑套在所述磁传动轴(401)上； d)磁传动轴止推弹簧(4041)，该弹簧绕在所述的磁传动轴(401)上且两端分别固定在所述磁传动轴止推挡板(405)和挡头(403)上； e)外套筒(402)，该外套筒套在所述磁传动轴(401)之外，且该外套筒(402)的一端与所述挡头(403)的另一侧相固定； f)两个内套筒(4071)和(4072)，该两个内套筒沿所述磁传动轴(401)的轴向固定在所述外套筒(402)内，该两内套筒(4071)和(4072)的内圆柱间开有槽口相对接的两个环形导槽，该导槽的轴向长度既所述磁传动轴(401)轴向运动的行程长度； g)换向轴(408)，套在所述外套筒(402)及内套筒(4072)内，该换向轴(408一端与双定位转芯(406) 轴端相接触，另一端与换向关节(412)相连接； h)双定位转芯(406)，该转芯(406)为带外导槽的两端开口圆柱，一端滑动地套在所述换向轴(408)的一端，另一端内接于所述磁传动轴(401)端部的轴上，所述磁传动轴(401)推动该双定位转芯(406)内接于所述两个内套筒(4071)及(4072)的导槽滑动与转动，并可分别锁定在两个内套筒(4071)及(4072)的导槽内； i)换向轴挡块(413)，该挡块(413)固定在所述换向轴(408上，并在所述外套筒(402)开口槽区间内作轴向运动；双定位转芯(406)第一次推动换向轴(408前移时，压缩的换向弹簧(4042)通过换向挡块(413)使换向轴(408一端压紧双定位转芯(406)，并使其锁定在内套筒(4072)的导槽内；而当双定位转芯(406)第二次推动换向轴(408前移时，拉伸的换向弹簧(4042)通过换向挡块(413)使换向轴(408一端压紧双定位转芯(406)，并使其锁定在内套筒(4071)的导槽内；并依次循环； j)换向接头(409)，该接头(409)的一端与所述外套筒(402)嵌接，同时又通过位于轴向的插入孔与所述换向轴(408)滑动套接； k)换向弹簧(4042)，该弹簧(4042)绕在所述换向轴(408)上，且两端分别固定在所述换向挡块(413)的另一侧以及嵌入所述外套筒(402)内的换向接头(409)的台阶上，对所述换向轴(408)的轴向移动起锁定作用； l)张合式四连杆，其中两条连杆交叉且转动连接在位于所述换向接头(409)一端的换向关节(416)，分别构成了机械手的左夹臂(414)和右夹臂(415)，而另外两条连杆也交叉且转动地连接在位于所述换向轴(408)一端的换向关节(412)上，所述机械手左夹臂(414)和右夹臂(415)分别通过活动的换向关节(411)和连接在所述换向轴(408)上的两条连杆相连；当所述磁传动轴(401)前进引起换向轴(408)前移时，使机械手左夹臂(414)和右夹臂(415)张开，把嵌在所述两个夹臂凹槽中的硅片缓慢地放下；而当所述磁传动轴(401)前进引起换向轴(408)后移时，则使机械手左夹臂(414)和右夹臂(415)合上，把硅片嵌在所述两个夹臂凹槽内缓慢夹住取出。 |
