| 申请专利号 |
200480003076.4 |
专利申请日 |
2004.01.28 |
| 名称 |
真空吸头 |
公开（公告）号 |
CN1744970 |
| 公开（公告）日 |
2006.03.08 |
颁证日 |
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| 优先权 |
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申请（专利权） |
三星钻石工业股份有限公司 |
| 地址 |
日本大阪 |
发明（设计）人 |
长泽茂树;高松生芳 |
| 国际申请 |
2004-01-28 PCT/JP2004/000785 |
国际公布 |
2004-08-12 WO2004/067234 日 |
| 专利代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
何腾云 |
| 摘要 |
| 真空吸附垫(31)是采用可腐蚀的板状部件。在其一方的面上，形成多个独立的凸部和凹部，设置吸附部(33b)。将吸附部(33b)的外周作为环状的气密部(33a)。当真空吸附垫(31)接近吸附对象的基板时，为了阻断真空吸附垫(31)的周边空间与外气连通，设置了带缝隙(32d)的裙垫(32)。该裙垫(32)是采用弹性部件形成的，一体形成为带沿帽状。这样，从吸引口(36)排气，吸附基板时，基板不会局部地变形，在吸附时，真空吸附垫与液晶板等基板之间的可吸附间隔可以扩大。 |
| 主权项 |
| 1.真空吸头，用于真空吸附基板，其特征在于，备有真空吸附垫和弹性部件； 所述真空吸附垫设有吸附部、气密部、槽部和开口；所述吸附部采用板状部件，在其一面上形成多个独立的凸部和凹部；所述气密部包围着吸附部，环状地形成于所述板状部件的外周位置；所述槽部是将所述吸附部的气体排出的通路；所述开口将所述槽部的气体排出到外部； 所述弹性部件包围着所述真空吸附垫地形成，当所述真空吸附垫接近吸附对象的基板时，阻断所述真空吸附垫的周边空间与外气的连通； 所述弹性部件，具有使该弹性部件的外侧的气体泄漏到内侧的功能。 |
