2007年更新 1985 1986 1987 1988 1989 1990 1991 1992 1993 1994 1995 1996 1997 1998 1999 2000 2001 2002 2003 2004 2005 2006
A:人类生活需要 B:作业,运输 C:化学,冶金 D:纺织和造纸 E:固定构造 F:机械工程 G:物理 H:电学
分 类 >> G:物理 >> G03F
申请(专利)号 名称 发明人 地址
在交替相移掩模中着色局部着色的设计的系统 200510071825.3 国际商业机器公司 美国纽约
一种微纳米结构图案的转印装置及方法 200410050075.7 财团法人工业技术研究院 中国台湾
厚膜构件图案的制造方法 200510081831.7 佳能株式会社 日本东京
光致抗蚀剂组合物及其无旋转涂布法、有机层图案制造方法、液晶显示器 200510072054.X 三星电子株式会社 韩国京畿道
辐射敏感树脂组合物 200510079171.9 住友化学株式会社 日本国东京都
辐射敏感的树脂组成物、固化树脂图案与液晶显示器 200510079868.6 住友化学株式会社 日本东京都
红外感光光敏组合物 200510083632.X 富士胶片株式会社 日本神奈川县
使用静态混合器和液-液离心机的树脂分级 200510068772.X 科莱恩金融(BVI)有限公司 英属维尔京群岛托尔托拉
曝光系统的仿真方法和仿真装置 200410027941.0 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
图形描绘装置和图形描绘方法 200510066854.0 大日本网目版制造株式会社 日本京都府
光刻显影装置及采用该装置制造滤色片基板的方法 200510077259.7 LG.菲利浦LCD株式会社 韩国首尔
描绘装置及描绘方法 200510078585.X 富士胶片株式会社 日本神奈川县
对准系统及对准方法 200510088148.6 友达光电股份有限公司 台湾新竹市
光致抗蚀剂的显影方法及显影装置 200510082200.7 夏普株式会社 日本大阪市
光致抗蚀剂残渣及聚合物残渣的除去组合物 200510081085.1 关东化学株式会社 日本东京都
形成凸缘相移掩模及利用凸缘相移掩模来形成半导体器件的方法 03818958.5 飞思卡尔半导体公司 美国得克萨斯
模板 200380104384.1 英根亚控股有限公司;英根亚技术有限公司 英属维尔京群岛托尔托拉岛
使用超高耐热性正型感光组合物的图案形成方法 200380104283.4 AZ电子材料(日本)株式会社 日本国东京都
含有无卤素着色剂的感光树脂组合物 200380104325.4 西巴特殊化学品控股有限公司 瑞士巴塞尔
可固化组合物、固化产品、滤色器和液晶显示器件 200480001615.0 三菱化学株式会社 日本东京都
辐射敏感树脂组合物 200380104596.X 日本瑞翁株式会社 日本东京都
正型感光性组合物 200480001589.1 株式会社新克 日本国千叶县
光刻系统 200380104096.6 迈普尔平版印刷IP有限公司 荷兰代尔夫特
平版印刷用冲洗液以及用其形成抗蚀图案的方法 200380104413.4 AZ电子材料(日本)株式会社 日本国东京都
顶端抗反射涂料聚合物、制法及顶端抗反射涂料组合物 200510062817.2 海力士半导体有限公司 韩国京畿道
纳米压印用紫外光固化阳离子型刻蚀胶 200510043034.X 西安交通大学 710049陕西省西安市咸宁路28号
曝光装置以及曝光方法 200510083530.8 富士胶片株式会社 日本神奈川县
制版用环保洗版液 200410027994.2 广州荣键贸易发展有限公司 510600广东省广州市达道路12金达大厦707-709
局部眩光校正 03825736.X 富士通株式会社 日本国神奈川县
LCD制造用正型光致抗蚀剂组合物和抗蚀图的形成方法 200380104752.2 东京应化工业株式会社 日本神奈川县
用于形成抗反射涂层的组合物 200380104698.1 东京应化工业株式会社 日本神奈川县
掩膜图案及其形成方法、涂料组合物的制备方法、和制造半导体器件的方法 200510064902.2 三星电子株式会社 韩国京畿道
波纹缺陷检查方法及装置、以及光掩模的制造方法 200510075809.1 HOYA株式会社 日本东京
灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 200510084068.3 HOYA株式会社 日本东京
光致抗蚀剂组合物 200510080628.8 东进世美肯株式会社 韩国仁川市
片材形成用组合物、其制造方法、及显示屏制造用片材状未烧结体 200510080926.7 东京応化工业株式会社 日本川崎市
感光性树脂组合物和元件、以及相关构件的制造方法 200510079627.1 日立化成工业株式会社 日本东京都
星形聚合物 200510082178.6 住友化学株式会社 日本国东京都
采用压电致动器移动物体的系统和方法 200410100797.9 ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
光刻设备、控制系统及器件制造方法 200510064168.X ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
光学放大率调节系统与投影曝光设备 200510073570.4 株式会社阿迪泰克工程 日本东京
描绘装置及描绘方法 200510078177.4 富士胶片株式会社 日本神奈川县
以倾斜掩膜板或晶片进行多焦点扫描 200510078229.8 台湾积体电路制造股份有限公司 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路8号
光刻装置和器件制造方法 200510078661.7 ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
辐射产生器件、光刻装置、器件制造方法及由此制造的器件 200510084819.1 ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
曝光装置和曝光方法 200510088498.2 佳能株式会社 日本东京
光刻投射装置及使用这种光刻投射装置的器件制造方法 200510081963.X ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
光阻剥离制程与光阻剥离装置 200410028146.3 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
图形尺寸校正装置及方法、光掩模以及试验用光掩模 200480001762.8 富士通株式会社 日本国神奈川县
用于制造成形结构的装置及方法 200380105374.X 宝洁公司 美国俄亥俄州
光刻用形成防反射膜的组合物 200380105388.1 日产化学工业株式会社 日本东京都
用于电测量缝合掩膜的单向未对准的电阻结构 200380105656.X 皇家飞利浦电子股份有限公司 荷兰艾恩德霍芬
防伪包装的生产工艺 200510034942.2 广西真龙彩印包装有限公司 542700广西壮族自治区贺州市富川瑶族自治县富阳镇民族路12号
光反应装置 200510076504.2 三洋电机株式会社;三洋电机生物医药设备有限公司 日本国大阪府
光刻装置和器件制造方法 200510081066.9 ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
具有气体冲洗装置的光刻设备 200510081753.0 ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
曝光装置、曝光方法及半导体装置的制造方法 200510083389.1 松下电器产业株式会社 日本大阪府
对准方法和装置,光刻装置,器件制造方法和对准工具 200510084450.4 ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
纳米级设计结构、其制造方法及设备以及在掩模修复、增强和制造上的应用 200380105744.X 纳米墨水公司 美国伊利诺斯州芝加哥
用于DNA微阵列生产的光敏掩膜的激光曝光 200380106084.7 英特尔公司 美国加利福尼亚州
用于纳米压印的组合物和方法 200380106100.2 普林斯顿大学 美国新泽西
滤色片黑色矩阵光阻组合物 200380106299.9 昭和电工株式会社 日本东京都
光致抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、涂布装置和光致抗蚀剂组合物 200380106292.7 东京应化工业株式会社 日本神奈川县
用于纳米压印的压模及其制备方法 200410050945.0 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
基于回流技术减少纳米压印复制品表面粗糙度的方法 200510028218.9 上海交通大学 200240上海市闵行区东川路800号
光刻胶保护膜用组合物、光刻胶保护膜及光刻胶图形形成方法 200510088468.1 旭硝子株式会社 日本东京
改进的成像组合物和方法 200510008145.7 罗姆及海斯电子材料有限公司 美国马萨诸塞州
可用作光敏产酸剂的新型硫鎓盐化合物及其制备方法 200510038661.4 常州华钛化学有限公司 213241江苏省金坛市朱林大街8号
含氟醚式结构多官能基光敏产酸剂及其制备方法 200510038717.6 常州华钛化学有限公司 213241江苏省金坛市朱林大街8号
新型六芳基二咪唑光敏引发剂及聚酰亚胺光敏组合物 200510038811.1 常州华钛化学有限公司 213241江苏省金坛市朱林大街8号
光刻装置及器件制作方法 200510009080.8 ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
一种自控液晶光阀组光刻快门 200510016501.X 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 130031吉林省长春市东南湖大路16号
光刻装置及用于校准该光刻装置的方法 200510087651.X ASML荷兰有限公司 荷兰维尔德霍芬
通过施加电场在光固化组合物中加工纳米级图形的方法和系统 02810019.0 德克萨斯州大学系统董事会 美国得克萨斯州
滤色片黑色矩阵光阻组合物及用于该组合物的碳黑分散体组合物 200380106777.6 昭和电工株式会社 日本东京都
阻质层涂覆方法、粘性材料的使用、粘性材料及阻质层 200380106827.0 因芬尼昂技术股份公司 德国慕尼黑
双半球会聚器 200380100025.9 英特尔公司 美国加利福尼亚州
极紫外线磁性对比光刻掩模及其制法 200510091072.2 因芬尼昂技术股份公司 德国慕尼黑
一维纳米材料的三维微构型制备方法 200510028437.7 上海交通大学 200240上海市闵行区东川路800号
基于湿法刻蚀MEMS压印模板制造工艺 200510043070.6 西安交通大学 710049陕西省西安市咸宁路28号
中国专利大全 版权所有